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全自動晶圓預清洗機

單價: 300000.00元/臺
發貨期限: 自買家付款之日起 天內發貨
所在地: 廣東 深圳
有效期至: 長期有效
發布時間: 2023-12-15 06:06
最后更新: 2023-12-15 06:06
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詳細說明


全自動晶圓預清洗機使用標準DI水沖洗以及超聲波,刷子和稀釋化學品清潔晶圓作為額外的清潔選項。通過手動加載和預對準,是一種多功能研發型系統,可實現靈活的清潔程序,支持300 mm晶圓。EVG301系統可與EVG的晶圓對準和鍵合系統結合使用,在晶圓鍵合(晶圓鍵合機)之前清除任何顆粒。旋轉夾頭可用于不同的晶圓和基片尺寸,以便輕松配置不同的工藝。


全自動晶圓預清洗機特征:


使用1 MHz兆聲波噴嘴或區域傳感器進行高效清潔(可選)


刷子擦洗,用于單面清潔(可選)


全自動晶圓預清洗機用于晶圓清洗的稀釋化學品


防止從背面到正面的交叉污染


完全由軟件控制清潔過程

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全自動晶圓預清洗機可選項:


帶IR檢測的預鍵合臺


用于非SEMI標準基片的工具


全自動晶圓預清洗機參數:


晶圓清洗尺寸:200mm,100-300mm


全自動晶圓預清洗機清洗系統:


打開腔室,旋轉器和清潔臂


腔室:由PP或PFA制成(可選)


全自動晶圓預清洗機清潔介質:去離子水(標準),其他清潔介質(可選)


旋轉夾頭:真空夾頭(標準)和邊緣處理夾頭(可選)由金屬離子和清潔材料制成


旋轉:高達3000 rpm(5秒內)


全自動晶圓預清洗機超聲波噴嘴:


頻率:1 MHz(3 MHz選項)


輸出功率:30 - 60 W


去離子水流量:高達1.5升/分鐘


有效的清潔區域:?4.0mm


全自動晶圓預清洗機材質:PTFE


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