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全自動光罩盒清洗機

單價: 350000.00元/臺
發貨期限: 自買家付款之日起 天內發貨
所在地: 廣東 深圳
有效期至: 長期有效
發布時間: 2023-12-15 11:21
最后更新: 2023-12-15 11:21
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發布企業資料
詳細說明

智能光罩清盒洗機是一種專門用于光罩清洗的設備,它可以將光罩表面的雜質、污漬、塵埃等清除干凈,從而提高光刻的精度和穩定性。它通常由多個部分組成,包括清洗液、噴頭、清洗室、水槽、控制系統等。

智能光罩盒清洗機的核心部分之一,它的質量直接影響到清洗效果的好壞。目前市面上的清洗液通常有兩種,一種是酸堿中和型清洗液,另一種是超純水。酸堿中和型清洗液一般用來清洗普通的光罩,它可以有效去除污漬和雜質,但對于一些更為      復雜的污漬和有機物則效果不太好;而超純水則完全去除不了污漬和雜質,但對于一些*為純凈的光罩則效果**。

智能光罩盒清洗機噴頭是光罩清洗設備的另一個重要部分,主要負責將清洗液噴灑在光罩表面,并收集清洗后的雜質和污漬。噴頭的設計要盡可能的精細,以確保清洗液均勻噴灑在光罩表面,從而避免造成清洗不均勻的問題。噴頭也要能夠快速地切換不同的清洗液,以便于應對不同種類的光罩。

智能光罩盒清洗機清洗室和水槽則負責容納光罩和清洗液,防止污染和外界干擾。清洗室通常是一個封閉的空間,也要具備排氣和通風的功能,以避免清洗液蒸發或者滯留在室內。水槽則用來容納清洗液,也要能夠進行循環、過濾和再生,以延長其使用壽命。

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智能光罩盒清洗機控制系統是光罩清洗設備的*后一個組成部分,它主要負責監控和控制整個清洗過程。控制系統通常包括多個傳感器、計時器、液位計等,可以自動調節清洗液的噴射壓力、濃度和溫度,從而確保清洗的穩定性和效率。

光罩清洗設備是光刻行業中的一款重要設備,它可以提高光刻的精度和效率,也節省了人力和物力成本。隨著科技的不斷進步,光罩清洗設備也在不斷地改進和升級,以適應不同種類的光罩清洗需要。

智能光罩盒清洗機應用9imch以下光刻版尺寸清洗制程;
觸控人機搭配PLC的軟件控制,對各制程步驟進行參數控制;
使用無刷式馬達控制系統,轉速*高可達3000rpm,轉速精度2rpm;
化學品擺臂清洗系統;
HVS擺臂清洗系統;
DI Water正/背面清洗系統;
智能光罩盒清洗機高轉速旋干系統;


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