射頻電源維修RF generator ENI(MKS) Spectrum B-3013

射頻電源常見故障及維修：

故障現象1：打開電源，電源指示燈不亮；

故障現象2：電源燈亮了，預熱燈不亮；

故障現象3：電源燈亮了，預熱燈亮、輝光亮，匹配器功率及反射功率，電源的功率指示和電流指示不正常。（正常的功 率指針指到220，電流指示0.4）

故障現象4：電源燈亮了，預熱燈亮，輝光不亮:；

故障現象5：無功率輸出；

故障現象6：有功率輸出，調不大，或是調不到正常值。

故障現象7：無反射功率，或反射功率過大，射頻功率源壞

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