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全自動晶圓單面刷洗機(jī)

單價: 300000.00元/臺
發(fā)貨期限: 自買家付款之日起 天內(nèi)發(fā)貨
所在地: 廣東 深圳
有效期至: 長期有效
發(fā)布時間: 2023-12-15 15:21
最后更新: 2023-12-15 15:21
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全自動晶圓單面刷洗機(jī)有效去除硅片晶圓表面的有機(jī)物、顆粒、金屬雜質(zhì)、自然氧化層及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破壞晶片表面特性。根據(jù)不同清洗工藝配置相應(yīng)的清洗單元,各部分有獨(dú)立控制,隨意組合。


全自動晶圓單面刷洗機(jī)結(jié)構(gòu):


采用三套獨(dú)立的電腦控制機(jī)械臂自動化作業(yè)


采用第三代最新技術(shù),全面完善的防酸防腐措施,保護(hù)到機(jī)器每一個角落


最新全自動補(bǔ)液技術(shù)


全自動晶圓單面刷洗機(jī)獨(dú)特的硅片干燥前處理技術(shù),保證硅片干燥不留任何水痕


成熟的硅片干燥工藝,多種先進(jìn)技術(shù)集于一身


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彩色大屏幕人機(jī)界面操作,方便參數(shù)設(shè)置多工藝方式轉(zhuǎn)換


全自動晶圓單面刷洗機(jī)特點(diǎn):


械手或多機(jī)械手組合,實(shí)現(xiàn)工位工藝要求。


PLC全程序控制與觸摸屏操作界面,操作便利。


自動上下料臺,準(zhǔn)確上卸工件。


全自動晶圓單面刷洗機(jī)凈化烘干槽,獨(dú)特的烘干前處理技術(shù),工作干燥無水漬。


全封閉外殼與抽風(fēng)系統(tǒng),確保良好工作環(huán)境。


具備拋動清洗功能,保證清洗均勻。


全封閉清洗均勻。


全封閉外殼與抽風(fēng)系統(tǒng),確保良好工作環(huán)境。


全自動晶圓單面刷洗機(jī)應(yīng)用范圍:


爐前清洗:擴(kuò)散前清洗。


全自動晶圓單面刷洗機(jī)光刻后清洗:除去光刻膠。


氧化前自動清洗:氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。


拋光后自動清洗:除去切、磨、拋的沾污。


全自動晶圓單面刷洗機(jī)外延前清洗:除去埋層擴(kuò)散后的SiO2及表面污物。


合金前、表面鈍化前清洗:除去鋁布線后,表面雜質(zhì)及光膠殘?jiān)?/p>


離子注入后的清洗:除去光刻膠,SiO2層。


擴(kuò)散預(yù)淀積后清洗:除去預(yù)淀積時的BSG和PSG。


CVD后清洗:除去CVD過程中的顆粒。


全自動晶圓單面刷洗機(jī)附件及工具的清洗:除去表面所有的沾污物


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