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黑龍江六氟乙烷化學報告

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所在地: 湖北 武漢
有效期至: 長期有效
發布時間: 2023-12-18 03:06
最后更新: 2023-12-18 03:06
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應用

六氟乙烷可用于一種具多功能的蝕刻技術,常見于半導體之生產。它可用于金屬硅化物及金屬氧化物并相對其金屬基質的選擇性蝕刻。叧外,它亦用于蝕刻硅上的二氧化硅。

六氟乙烷可連同三氟甲烷一起用于制冷劑R508A(六氟乙烷占61%)及R508B(六氟乙烷占54%)。

 


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